近日，正阳 “蜂巢系列，板级通孔蚀刻机” 顺利完成整机检验、打包装车，正式启程发往海外客户生产现场。本次高端装备圆满交付，是公司在先进封装、板级互连核心工艺装备领域取得的又一重大突破，也标志着国产半导体微纳装备在国际客户验证与量产交付方面再上新台阶。

 蜂巢系列板级通孔蚀刻机，专为 先进封装、玻璃基板 TGV、高密度板级互连等高端制造场景打造。设备搭载正阳多项自主知识

产权核心技术，集成：

· ✅ 高精度湿法蚀刻系统

· ✅ 智能均匀流场调控模块

· ✅ 在线实时工艺监测单元

· ✅ 闭环控制与稳定量产方案

依托核心自研技术，设备可稳定实现超高蚀刻均匀性与高深宽比精密通孔加工，全面满足高端先进封装量产要求，以高精度、高

良率、高稳定性，树立国产蚀刻装备技术新标杆。