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Bench批次式湿法设备

Bench批次式湿法设备

设备用途:

●  RCA清洗机

●  栅极预清洗

●  碳化硅腐蚀

●  光阻去除

●  氧化硅腐蚀

●  有机清洗

●  晶圆 Recycle

●  TGV复合诱导腐蚀

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设备用途:

●  RCA清洗机

●  栅极预清洗

●  碳化硅腐蚀

●  光阻去除

●  氧化硅腐蚀

●  有机清洗

●  晶圆 Recycle

●  TGV复合诱导腐蚀