广东省深圳市宝安区西乡街道龙腾社区汇智研发中心B座B1206
珠海市高新区鼎业路81号华发5.0制造产业园D区A03栋
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● 自动运行，干进干出
● 设备占地面积小
● 去离子水减少高达80%
● 工艺介质减少高达80%
● 封闭式系统
● 可柔性多腔室组合
● 显像工艺
● 刻蚀工艺
● 清洗工艺
● 剥离工艺
● 可选配O3清洗
